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特徴
- プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
仕様
- プラズマモード：RIE/DP切替器付
- 電極構造：平行平板（電極間固定）
- 高周波出力：mAX 500W
- 発振周波数：13.56mHz 水晶発振
- 制御・表示（計器）：液晶タッチパネル
- チャンバー寸法：幅500×奥行300×高さ200mm
- ステージ寸法：幅400×奥行200mm
- チャンバー材質：アルミ製
- 反応ガス：2系統（アルゴン、酸素）
- パージガス：窒素、またはドライエア
- 反応ガス流量制御：マスフローコントローラ
- 真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約500L/分）
- ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個
- 外形寸法：幅700×奥行700×高さ700mm
- 電源：三相 AC200V
- コード番号：215054
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-9659-53
卓上小型プラズマ装置
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61-9659-55
卓上小型プラズマ装置
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61-9659-54
卓上小型プラズマ装置
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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