ヤマト科学

61-9659-52　小型プラズマ装置　PM100

[Yamato Scientific Co., Ltd.] Small plasma device

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動画あり

特徴

  • プラズマ装置の廉価版
  • シンプル操作でルーチンワーク向け
  • 高周波利用申請は不要です。

仕様

  • プラズマ発生源：低周波高電圧電源、出力50W未満、60kHz、ピーク電圧10kV
  • 電極構造：コンデンサー形2分割
  • ガスフローメータ：酸素ガス用、流量30～300mL/min
  • 真空、パージ調整バルブ：スロー真空引、スローパージ用
  • チャンバー寸法：内径100mm×奥行最大約200mm
  • 外形寸法：W310mm×D300mm×H448mm（突起含まず）
  • 電源：AC100V
  • コード番号：215015
アズワン品番
61-9659-52
JANコード
4573181501322
型番
PM100
入り数
1個
標準価格
1,561,000円（税抜）
WEB価格
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