動画あり
特徴
- 大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
- 発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
- 操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
- 用途：フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウエーハ、ガラス基板に対応
仕様
- 方式：DP方式バレル型
- 制御部：高周波出力：max500W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：オートチューニング
- 反応部：反応槽：石英製φ215×305mm、反応ガス系：2系統、制御系：タッチパネルからの自動シーケンス 、配管系材質：SUS、テフロン
- 外形寸法：幅438×奥行520×高さ760mm
- コード番号：215012
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|