61-9659-49　プラズマリアクター　PR500

特徴

• 大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
• 発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
• 操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
• 用途：フォトレジストの除去、部品の洗浄、界面活性処理、マイクロ研磨、ウエーハ、ガラス基板に対応

仕様

• 方式：DP方式バレル型
• 制御部：高周波出力：max500W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：オートチューニング
• 反応部：反応槽：石英製φ215×305mm、反応ガス系：2系統、制御系：手動、配管系材質：SUS、テフロン
• 外形寸法：幅438×奥行520×高さ760mm
• コード番号：215007