61-8486-39　［取扱停止］半導体材料ガス用ガス漏れ探知　XP703D

特徴

• 半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知出来ます。
• ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易です。
• 半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査に。

仕様

• 対象ガス：半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど)
• 寸法：W68×H155×D32mm
• 質量(g)：400
• 検知可能濃度：アルシン：0.2ppm/ホスフィン：0.3ppm/ジボラン：0.1ppm/シラン：0.5ppm/水素：1.0ppm
• セット内容および付属品：レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、点検ガス、標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池4本
• コード番号：580-4485
• 沖縄・離島は別途配送費が必要です。