61-6985-66 真空仕様自動回転ステージ VSGSP-120YAW
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Vacuum Specification Automatic Rotation Stage
特徴
- 真空環境に対応した自動回転ステージです。
- φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。
- φ120mmは、真空環境に対応したリミットセンサを搭載しました。
- 薄型でありながら、□42mmの大型モーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
- 真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
仕様
- 【＜真空仕様自動回転ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：VSGSP-60YAW：真空仕様5相ステッピングモーター 0.66A/相（多摩川精機(株)）、VSGSP-120YAW：真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相（オリエンタルモーター(株)）
- モータ品番：VSGSP-60YAW：TS3664N5（□24mm）、VSGSP-120YAW：PK543V-NB（□42mm）
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：VSGSP-60YAW：-、VSGSP-120YAW：DC5～24V
- センサ消費電力：VSGSP-60YAW：-、VSGSP-120YAW：消費電流 10mA（Max 20mA）
- センサ制御出力：VSGSP-60YAW：接点式、VSGSP-120YAW：メカニカル
- センサ出力論理：NORMAL OPEN
- 適応ドライバ：SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL
- 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 回転範囲：反時計周りCCW方向は∞、 時計周りCW方向は0度付近（−2.5°）で停止
- テーブル面サイズ：φ120mm
- 移動機構：ウォーム ウォームホイール
- 移動ガイド：クロスローラ
- ステージ材質：アルミ・ステンレス
- 表面処理：無
- 質量：1.7kg
- 分解能/（Ｆull）：0.005°/パルス
- 分解能（Half）：0.0025°/パルス
- MAXスピード：20°/sec
- 繰り返し位置決め精度：0.02°
- 耐荷重：98.0N（10.0kgf）
- ロストモーション：0.05°
- センサ種類：GN-STM35A-1（株式会社メトロール）
- リミットセンサ：真空タッチセンサ（NORMAL OPEN）
- 原点センサ：無
- 近接原点センサ：無
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6985-62
真空仕様自動回転ステージ
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61-6985-66
真空仕様自動回転ステージ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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