61-6985-63 真空仕様自動ステージ 移動量35mm VSGSP20-35(X)
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Vacuum Specification Automatic Stage Movement Amount 35mm
特徴
- 真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
- 直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。
- モータケーブルとセンサケーブルは、バラ線1ｍとなっています。
仕様
- 【＜真空仕様自動ステージ ＞共通仕様】
- モータタイプ：真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモーター(株)）
- モータ品番：A7298-90215KV（□28mm）
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：10mA（Max 20mA）
- センサ制御出力：メカニカル
- センサ出力論理：NORMAL CLOSE
- 適応ドライバ：SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL
- 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 移動量：35mm
- テーブル面サイズ：60×60mm
- 送りネジ：精密研削ネジφ6mm、 リード1mm
- 移動ガイド：アウターレール構造
- ステージ材質：アルミ・ステンレス
- 表面処理：無
- 質量：1.0kg
- 分解能/（Ｆull）：2μm/パルス
- 分解能（Half）：1μm/パルス
- MAXスピード：10mm/sec
- 繰り返し位置決め精度：5μm
- 耐荷重：39.2N（4.0kgf）
- ロストモーション：3μm
- センサ品番：GN-PT5M3B-1（株式会社メトロール）
- リミットセンサ：真空タッチセンサ（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：無
- 近接原点センサ：無
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6985-64
真空仕様自動ステージ 移動量85mm
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61-6985-65
真空仕様自動ステージ 移動量200mm
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61-6985-63
真空仕様自動ステージ 移動量35mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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