61-6985-59 ［取扱停止］真空仕様小型自動ステージ 29.4N（3.0kgf） VSGSP-60(X)
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Vacuum Specification Small Automated Stage 29.4N (3.0kgf)
特徴
- 実験用、計測装置のチャンバー内で使用する小型自動ステージです。
- コンパクトなスリムボディを実現し、省スペースに効果的です。
- 真空モータ部、真空リミットスイッチ部からチャンバのコネクタ部へ直接接続するために1mのテフロンコーティングケーブルが付いています。
仕様
- 【＜真空仕様小型自動ステージ ＞共通仕様】
- モータタイプ：真空仕様5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機(株)）
- モータ品番：TS3664N5（□42mm）
- モータステップ角度：0.72°
- センサ制御出力：接点式
- センサ出力論理：NORMAL OPEN
- 適応ドライバ：SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL
- 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 移動量：20mm
- テーブル面サイズ：55×60mm
- 送りネジ：精密研削ネジφ4mm、 リード0.5mm
- 移動ガイド：クロスローラ
- ステージ材質：アルミ
- 表面処理：無
- 質量：0.55kg
- 分解能/（Ｆull）：1μm/パルス
- 分解能（Half）：0.5μm/パルス
- MAXスピード：5mm/sec
- 繰り返し位置決め精度：6μm
- 耐荷重：29.4N（3.0kgf）
- ロストモーション：5μm
- センサ種類：真空リミットスイッチ
- リミットセンサ：接点式
- 原点センサ：無
- 近接原点センサ：無
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6985-61
真空仕様小型自動ステージ 14.7N（1.5kgf）
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61-6985-60
真空仕様小型自動ステージ 19.6N（2.0kgf）
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61-6985-59
真空仕様小型自動ステージ 29.4N（3.0kgf）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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