61-6985-52 ［取扱停止］ガラススケール内蔵自動ステージシステム 80×80mm TSDM(GS)80-20X
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Built-In Glass Scale Automated Stage System 80 x 80mm
特徴
- 高分解能の小型リニアエンコーダを内蔵した自動ステージを専用コントローラで制御するフルクローズドループ制御システムです。
- リニアエンコーダ信号のフィードバックとマイクロステップ駆動により、送りネジ機構特有のリード誤差を最小限に抑えることができます。
- 線膨張係数の小さなガラススケールを採用することで、周囲環境の変動にも安定した信頼性の高い位置決めシステムを実現できます。
- サブミクロンでの正確な位置決めが必要な用途や、温度ドリフトによる再現性の影響を受ける長時間駆動用途などに最適です。
仕様
- 【＜ガラススケール内蔵自動ステージシステム ステージサイズ□60/□80mm＞共通仕様】
- モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.35A/相（オリエンタルモータ(株)）
- モータ品番：PK513PB-C9（□20mm）
- モータステップ角度：0.72°
- 適応コントローラ：SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
- 【個別仕様】
- 移動量：20mm
- テーブル面サイズ：80×80mm
- 送りネジ：精密研削ネジφ5mm、リード0.5mm
- 移動ガイド：ボールガイド
- ステージ材質：鉄
- 質量：1.1kg
- 分解能（Full）：1μm/パルス
- 分解能（Half）：0.5μm/パルス
- MAXスピード：5mm/sec
- 位置決め精度：5μm
- 繰返し位置決め精度：0.5μm
- 耐荷重：29.4N（3.0kgf）
- モーメント剛性/ピッチング：0.2″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：0.2″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：0.2″/N･cm
- ロストモーション：0.5μm
- バックラッシ：10μm
- 平行度：50μm
- 運動の平行度：10μm
- 運動の垂直度：−
- ピッチング：15″
- ヨーイング：15″
- センサ品番：PM-L24（SUNX株式会社）
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：無
- 近接原点センサ：無
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6985-52
ガラススケール内蔵自動ステージシステム 80×80mm
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61-6985-53
ガラススケール内蔵自動ステージシステム 60×60mm
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61-6985-51
ガラススケール内蔵自動ステージシステム 60×60mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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