61-6984-63　［取扱停止］倒立型対物レンズ駆動ピエゾアクチュエータ　60.8×30×40mm　　　SFAI-OBL-1R

特徴

• アクチュエータにピエゾ素子とフィードバック用にデジタルセンサを搭載した倒立型顕微鏡型対物レンズ用アクチュエータです。
• 小型で、高速･高分解能位置決めが可能です。
• 移動量はオープンで100μmです。
• 各種顕微鏡への組込みを考慮し、正立型2種類と倒立型をご用意しています。
• シグマファインステージシリーズと同様、コントローラ（FINE-01γ/503(CL)）で駆動できます。
• またRS232C、GP-IB（FINE-503(CL)のみ）、USBインターフェイスに対応のため、PCから計測･制御ソフトのSGEMCS、SGTERM及びSGSFSXを使うことにより簡単に位置制御することができます。
• 各メーカーの対物レンズのネジサイズに合わせ、アダプタもご用意しています。
• SFS-OBL-2は、金属封入タイプのピエゾアクチュエータを採用したことによりSFSOBL-1と比較し湿度など耐環境性能がアップしています。
• ※クローズ時の移動量は、オープン時の約20％になります。

仕様

• 移動量：100μm±15％
• 対物レンズ 径：＜φ39mm（外径）
• 外形寸法：（W）60.8×（H）30×（D）40mm
• アクチュエータ：ピエゾ素子
• 質量：0.15kg
• 理論分解能（オープン時）：約0.8nm
• 分解能（クローズ時）：10nm
• 真直度（XyXzYxYz）：＜0.2μm
• 繰返し位置決め精度：＜0.1μm
• 耐荷重：4.9N（0.5kgf）
• 微小変位センサ：デジタルセンサ
• 対応アダプタ：OBL-ADP3-※※
• 付属品：ケーブル（2m）、専用リフトスペーサー4個