61-6984-55　［取扱停止］シグマファインステージ（高剛性タイプ）　移動量90μm±15％　耐荷重：9.8N（1.0kgf）　　SFS-H40X(CL)

特徴

• デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
• デジタルセンサ採用によりフルクローズ制御ができる為、高精度・高分解能の位置決め可能なピエゾステージです。
• ピエゾ素子をアクチュエータとして採用し、オープン制御で移動量90μm～100μm、理論分解能1nmの微動を実現します。
• 位置検出センサにデジタルセンサ(周波数→デジタル変換方式微小変位センサ）を採用しフルクローズドループ制御時の表示分解能は10nmを実現します。
• 同社コントローラFINEシリーズを使うことにより高速化を実現。
• 繰り返し周波数はSFS-H(直動）において、繰り返し周波数10～15Hzを実現FINE-01γのアナログ入力を用いると25Hzを実現します。
• ※クローズ時の移動量は、オープン時の約20％になります。

仕様

• 移動量：90μm±15％
• テーブル面サイズ：40×40mm
• アクチュエータ：ピエゾアクチュエータ
• 質量：0.28kg
• 理論分解能（オープン時）：1nm
• 分解能（クローズ時）：10nm
• リニアリティ：＜0.3％
• 垂直度（水平方向）：1μm
• 繰返し位置決め精度：＜0.1μm
• 耐荷重：9.8N（1.0kgf）
• 微小変位センサ：デジタルセンサ
• 対応ケーブル：ケーブル（2m）付属
• CE適合品