61-6984-54　［取扱停止］透過型XYファインステージ　SFS-120XY(WA)

特徴

• デジタルセンサを採用することにより、高精度・高剛性・ハイスピードを追求し、理論分解能1nmの微動を実現するピエゾステージです。
• アクチュエータにピエゾ素子と位置フィードバックにデジタルセンサを搭載した、50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下での試料の微動に適しています。
• シグマファインステージ用コントローラFINE-503で駆動することが出来ます。
• コントローラがRS232C、GP-IB（FINE-503のみ）、USBインターフェイスに対応しておりますので、PCから計測・制御ソフトのSGEMCS、SGTERMおよびSGSFSXを使うことにより簡単に位置制御することができます。
• 各種顕微鏡への組み込み、精密計測、半導体検査装置、高精度マスク位置決め、走査型干渉計、画像処理装置、バイオ関連装置等々の用途に最適です。
• ※クローズ時の移動量は、オープン時の約20％になります。

仕様

• 移動量：100μm±10％
• テーブル面サイズ：120×120mm
• アクチュエータ：ピエゾアクチュエータ
• 質量：1.2kg
• 理論分解能（オープン時）：1nm
• 分解能（クローズ時）：10nm
• リニアリティ：−
• 垂直度（水平方向）：＜1μm
• 繰返し位置決め精度：＜0.1μm
• 耐荷重：19.6N（2.0kgf）
• 微小変位センサ：デジタルセンサ
• 対応ケーブル：FINE-CA-3：ピエゾ用　DS1-CA-3：デジタルセンサ用
• CE適合品