61-6984-49 ［取扱停止］精密小型ZF軸自動ステージ 移動量5mm 40×40mm OSMS40-5ZF
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Precision Small ZF Axis Automated Stage Movement Amount 5mm 40 x 40mm
特徴
- 高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。
- 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。
- 同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。
- 突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。
仕様
- 【＜精密小型ZF軸自動ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモータ(株)）、OSMS40-5ZFは035A/相
- モータ品番：OSMS40-5ZF ： PK513PA-C21（□20mm）、OSMS60-5ZF/10ZF ： PK523HPB-C12（□28mm）、OSMS80-20ZF ： A7177-90215KTG（□28mm）
- モータステップ角度：0.72(OSMS80-20ZFは、0.036°）
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：40mA以下（1センサあたり20mA以下）
- センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
- センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
- 適応ドライバ：OSMS40-5ZF ： SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、OSMS60-5ZF/10ZF ： SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL、OSMS80-20ZF ： SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL
- 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 移動量：5mm
- テーブル面サイズ：40×40mm
- 送りネジ：ボールネジ径φ5mm、リード1mm
- 移動ガイド：アウターレール構造
- ステージ上面材質：アルミ
- 表面処理：黒アルマイト
- 質量：0.35kg
- 分解能（Full）：1μm/パルス
- 分解能（Half）：0.5μm/パルス
- MAXスピード：2mm/sec
- 繰返し位置決め精度：10μm
- 耐荷重：19.6N（2.0kgf）
- モーメント剛性/ピッチング：2″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：2″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：1″/N･cm
- ロストモーション：5μm
- 平行度：50μm
- 走り平行度：15μm
- ピッチング：25″
- センサ品番：マイクロフォトセンサ ： PM-U24（SUNX株式会社） ： リミットセンサ
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：無
- 近接原点センサ：無
- CE適合品
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6984-49
精密小型ZF軸自動ステージ 移動量5mm 40×40mm
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61-6984-50
精密小型ZF軸自動ステージ 移動量5mm 60×60mm
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61-6984-51
精密小型ZF軸自動ステージ 移動量10mm 60×60mm
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61-6984-52
精密小型ZF軸自動ステージ 移動量20mm 80×80mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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