61-6984-13　高剛性・精密型自動ステージ　移動量100mm　120×120mm　OSMS26-100(Z)-M6

仕様

• 【＜高剛性・精密型自動ステージ＞共通仕様】
• モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモータ(株)）
• モータ品番：PK525HPB-C4（□28mm）
• モータステップ角度：0.72°
• センサ電源電圧：DC5～24V±10%
• センサ消費電力：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
• センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
• センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
• 適応ドライバ：SG-5M､SG-5MA、SG-55M､SG-55MA、SG-514MSC､MC-7514PCL
• 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
• 【個別仕様】
• 移動量：100mm
• テーブル面サイズ：120×120mm
• 送りネジ：ボールネジ径φ8mm、リード2mm
• 移動ガイド：アウターレール構造
• ステージ上面材質：アルミ
• 表面処理：黒アルマイト
• 質量：4.9kg
• 分解能（Full）：4μm/パルス
• 分解能（Half）：2μm/パルス
• MAXスピード：10mm/sec
• 位置決め精度：20μm
• 繰返し位置決め精度：3μm
• 耐荷重：39.2N（4.0kgf）
• モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N･cm
• モーメント剛性/ヨーイング：0.15″/N･cm
• モーメント剛性/ローリング：0.20″/N･cm
• ロストモーション：3μm
• バックラッシ：3μm
• 運動の垂直度：30μm
• ピッチング：100″
• ヨーイング：20″
• センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ株式会社）
• リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
• 原点センサ：有
• 近接原点センサ：有
• CE適合品
• RoHS適合品