61-6983-71 高剛性・精密型自動ステージ 移動量85mm 85×85mm OSMS20-85(X)-INCH
[SIGMAKOKI CO., LTD.] High Rigidity, Precision Type Automated Stage Movement Amount 85mm 85 x 85mm OSMS20-85(X)-INCH
特徴
- 高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
- レールの形状は、U字形として軽量化をはかり、たわみを最小に抑えた高剛性仕様となっています。
仕様
- 【＜高剛性・精密型自動ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機(株)）
- モータ品番：TS3664N4E10 (□24mm)
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
- センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
- センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
- 適応ドライバ：SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC、MC-7514PCL
- 適応コントローラ：GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 移動量：85mm
- テーブル面サイズ：85×85mm
- 送りネジ：ボールネジ径φ6mm、リード1mm
- 移動ガイド：アウターレール構造
- ステージ上面材質：アルミ
- 表面処理：黒アルマイト
- 質量：1.3kg
- 分解能（Full）：2μm/パルス
- 分解能（Half）：1μm/パルス
- MAXスピード：25mm/sec
- 位置決め精度：10μm
- 繰返し位置決め精度：3μm
- 耐荷重：78.4N（8.0kgf）
- モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：0.25″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：0.35″/N･cm
- ロストモーション：3μm
- バックラッシ：3μm
- 平行度：30μm
- 走り平行度：10μm
- ピッチング：30″
- ヨーイング：20″
- センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ株式会社）
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：有
- 近接原点センサ：有
- CE適合品
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6983-68
高剛性・精密型自動ステージ 移動量35mm 85×85mm
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61-6983-67
高剛性・精密型自動ステージ 移動量35mm 85×85mm
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61-6983-70
高剛性・精密型自動ステージ 移動量85mm 85×85mm
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61-6983-71
高剛性・精密型自動ステージ 移動量85mm 85×85mm
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61-6983-66
高剛性・精密型自動ステージ 移動量35mm 85×85mm
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61-6983-69
高剛性・精密型自動ステージ 移動量85mm 85×85mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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