61-6983-63　コンパクトスケール内蔵自動ステージ　120×120mm　　OSMS(CS)33-500(X)

仕様

• 【＜コンパクトスケール内蔵自動ステージ＞共通仕様】
• モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機(株)）
• モータ品番：TS3667N43E967（□42mm）
• モータステップ角度：0.72°
• センサ電源電圧：DC5～24V±10%
• センサ消費電力：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
• センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力　DC30V以下50mA以下
• センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
• 電源電圧/消費電流：DC5V±5％ / 100mA
• ドライブケーブル：D15D15A-CA
• スケールケーブル：GSEF-CA-3
• 適応ドライバ：-
• 適応コントローラ：SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
• 【個別仕様】
• 移動量：500mm
• テーブル面サイズ：120×120mm
• 送りネジ：ボールネジ径φ10mm、リード10mm
• 移動ガイド：アウターレール構造
• ステージ上面材質：アルミ
• 表面処理：黒アルマイト
• 質量：9.6kg
• 分解能（Full）：20μm/パルス
• 分解能（Half）：10μm/パルス
• MAXスピード：100mm/sec
• 位置決め精度：25μm
• 繰返し位置決め精度：5μm
• 耐荷重：196N（20.0kgf）
• モーメント剛性/ピッチング：0.12″/N･cm
• モーメント剛性/ヨーイング：0.08″/N･cm
• モーメント剛性/ローリング：0.1″/N･cm
• ロストモーション：5μm
• バックラッシ：3μm
• 平行度：50μm
• 走り平行度：10μm
• ピッチング：30″
• ヨーイング：25″
• センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ株式会社）
• リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
• 原点センサ：有
• 近接原点センサ：有
• スケールヘッド：0.5μm
• CE適合品
• RoHS適合品