61-6983-55 コンパクトスケール内蔵自動ステージ 120×120mm OSMS(CS)26-100(X)-M6
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Built-In Compact Scale Automated Stage 120 x 120mm OSMS(CS)26-100(X)-M6
特徴
- 専用ステージコントローラ（SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S）を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
- モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、ピッチング、ローリング、ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決めが可能です。
- コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。
仕様
- 【＜コンパクトスケール内蔵自動ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（オリエンタルモータ(株)）
- モータ品番：PK525HPB-C4（□28mm）
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：80mA以下（1センサあたり20mA以下）
- センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
- センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
- 電源電圧/消費電流：DC5V±5％ / 50mA
- ドライブケーブル：D15D15A-CA
- スケールケーブル：GSEF-CA-3
- 適応ドライバ：-
- 適応コントローラ：SHOT-302GS､SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S
- 【個別仕様】
- 移動量：100mm
- テーブル面サイズ：120×120mm
- 送りネジ：ボールネジ径φ8mm、リード2mm
- 移動ガイド：アウターレール構造
- ステージ上面材質：アルミ
- 表面処理：黒アルマイト
- 質量：3.2kg
- 分解能（Full）：4μm/パルス
- 分解能（Half）：2μm/パルス
- MAXスピード：30mm/sec
- 位置決め精度：10μm
- 繰返し位置決め精度：3μm
- 耐荷重：117N（12.0kgf）
- モーメント剛性/ピッチング：0.23″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：0.12″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：0.2″/N･cm
- ロストモーション：3μm
- バックラッシ：3μm
- 平行度：50μm
- 走り平行度：10μm
- ピッチング：25″
- ヨーイング：20″
- センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ株式会社）
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：有
- 近接原点センサ：有
- スケールヘッド：0.5μm
- CE適合品
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6983-55
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 120×120mm
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61-6983-54
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 100×100mm
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61-6983-56
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 120×120mm
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61-6983-58
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 120×120mm
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61-6983-59
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 120×120mm
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61-6983-57
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 100×100mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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