61-6983-49 コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm OSMS(CS)20-35(X)-M6
[SIGMAKOKI CO., LTD.] Built-In Compact Scale Automated Stage 85 x 85mm OSMS(CS)20-35(X)-M6
特徴
- 専用ステージコントローラ（SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S）を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
- モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、ピッチング、ローリング、ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決めが可能です。
- コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。
仕様
- 【＜コンパクトスケール内蔵自動ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：5相ステッピングモータ 0.75A/相（多摩川精機(株)）
- モータ品番：TS3664N4E10 (□24mm)
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
- センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
- センサ出力論理：遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）
- 電源電圧/消費電流：DC5V±5％ / 50mA
- ドライブケーブル：D15D15A-CA
- スケールケーブル：GSEF-CA-3
- 適応ドライバ：-
- 適応コントローラ：SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M・HIT-S
- 【個別仕様】
- 移動量：35mm
- テーブル面サイズ：85×85mm
- 送りネジ：ボールネジ径φ6mm、リード1mm
- 移動ガイド：アウターレール構造
- ステージ上面材質：アルミ
- 表面処理：黒アルマイト
- 質量：1.4kg
- 分解能（Full）：2μm/パルス
- 分解能（Half）：1μm/パルス
- MAXスピード：25mm/sec
- 位置決め精度：5μm
- 繰返し位置決め精度：2μm
- 耐荷重：78.4N（8.0kgf）
- モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：0.25″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：0.25″/N･cm
- ロストモーション：3μm
- バックラッシ：3μm
- 平行度：30μm
- 走り平行度：10μm
- ピッチング：30″
- ヨーイング：20″
- センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPIF（シャープ株式会社）
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：有
- 近接原点センサ：無
- スケールヘッド：0.5μm
- CE適合品
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6983-50
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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61-6983-51
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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61-6983-52
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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61-6983-49
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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61-6983-53
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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61-6983-48
コンパクトスケール内蔵自動ステージ 85×85mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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