61-6983-18 高耐久型自動アライメントステージ 分解能約0.0053° HDS-60YAW
[SIGMAKOKI CO., LTD.] High Durability Type Automatic Alignment Stage Resolution Approximately 0.0053°
特徴
- 半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
- 試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメント装置などの用途に最適です。
- 駆動機構にボールネジを使用することで、部品の磨耗やガタツキを減らし、高耐久性を実現しました。
- ボールネジによる直線運動をスチールベルトにより回転運動に変換しているため、分解能や回転速度はストロークセンターとストロークエンドとで差が生じることがありません。
- HDSシリーズの原点センサはストロークの中心（0°）付近にあります。
- ※HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。
- ※天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。
仕様
- 【＜高耐久型自動回転ステージ＞共通仕様】
- モータタイプ：HDS-60YAW：5相ステッピングモータ 0.66/相 (多摩川精機(株))、HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ 0.75A/相 (オリエンタルモーター(株))
- モータ品番：HDS-60YAW：TS3664N4（□24mm）、HDS-80YAW、HDS-120YAW：C9863-90215P（□28mm）
- モータステップ角度：0.72°
- センサ電源電圧：DC5～24V±10%
- センサ消費電力：60mA以下（1センサあたり20mA以下）
- センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
- センサ出力論理：遮光時：出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ、遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ
- 適応ドライバ：SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC
- 適応コントローラ：GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04
- 【個別仕様】
- 回転範囲：±5°
- テーブル面サイズ：φ60mm
- 移動機構：ボールネジ＋スチールベルト
- 移動ガイド：ベアリング方式
- ステージ上面材質：アルミ
- 表面処理：黒アルマイト
- 質量：0.5kg
- 分解能 (Full) ：約0.0053°/パルス
- 分解能 (Half)：約0.0027°/パルス
- MAXスピード：60°/sec
- 位置決め精度：0.05°
- 繰返し位置決め精度：0.003°
- 耐荷重：29.4N（3.0kgf）
- モーメント剛性：1″/N･cm
- ロストモーション：0.003°
- バックラッシ：0.05°
- 平行度：50μm
- 同心度：10μm（±5°の範囲内）
- 面振れ量：0.01μm (±5°の範囲内）
- センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S097HCZ(シャープ株式会社)
- リミットセンサ：有（NORMAL CLOSE）
- 原点センサ：有(NORMAL OPEN)
- 近接原点センサ：無
- CE適合品
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
61-6983-19
高耐久型自動アライメントステージ 分解能約0.0038°
|
|
|
61-6983-20
高耐久型自動アライメントステージ 分解能約0.0022°
|
|
|
61-6983-18
高耐久型自動アライメントステージ 分解能約0.0053°
|
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|