61-6981-21　XZ軸ステンレスステージ（垂直）　65×65mm　X軸±6.5mm　Z軸±6.5mm　TSDS-654CLUU

特徴

• スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
• 全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
• ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
• TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
• アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。

仕様

• 【＜XZ軸ステンレスステージ（垂直） ステージサイズ□25/□40/□60/□65mm＞共通仕様】
• 移動ガイド：ボールガイド
• 主要材質：ステンレス
• 表面処理：無
• 【個別仕様】
• テーブル面サイズ：65×65mm
• マイクロ操作位置：センター
• 移動量：X軸：±6.5mm　Z軸：±6.5mm
• 移動量/1回転：0.5mm
• マイクロメータ最小読取：0.01mm
• 耐荷重：49N（5.0kgf）
• 移動精度/真直度：1μm
• 許容モーメント荷重/ピッチング：8.0N･m
• 許容モーメント荷重/ローリング：8.0N･m
• モーメント剛性/ピッチング：0.45″/N･cm
• 質量：1.45kg
• RoHS適合品