61-6980-91　Z軸フラットステンレスステージ　65×65mm　±5mm　TSDS-653-M6

特徴

• スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
• 全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
• ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
• TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
• アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
• ※Z軸構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することはできません。
• ※テコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対し±0.02mm程度）が生じます。

仕様

• 【＜Z軸フラットステンレスステージ　ステージサイズ□25/□40/□60/□65mm＞共通仕様】
• 移動ガイド：ボールガイド
• 主要材質：ステンレス
• 表面処理：無
• 【個別仕様】
• テーブル面サイズ：65×65mm
• 移動量：±5mm
• 移動量/1回転：0.5mm
• マイクロメータ最小読取：0.01mm
• 耐荷重：147N（15.0kgf）
• 移動精度/真直度：2.5μm
• 許容モーメント荷重/ピッチング：6.9N･m
• 許容モーメント荷重/ローリング：6.9N･m
• モーメント剛性/ピッチング：0.51″/N･cm
• モーメント剛性/ローリング：0.51″/N･cm
• 平行度：80μm
• 移動平行度：25μm
• 質量：1.1kg
• RoHS適合品