61-6980-76 XY軸ステンレスステージ 25×25mm ±3mm TSDS-252S
[SIGMAKOKI CO., LTD.] XY Axis Stainless Steel Stage 25 x 25mm ±3mm
特徴
- スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
- 全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。
- ステージ本体・マイクロメータヘッドともに高真空グリース（YVAC2）を使用しています。
- TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。
- アウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
- ※マイクロメータヘッドを固定している部品やマイクロメータヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。
- ※ステージに取り付ける試料の形状により、固定出来ない場合や移動量が確保出来ない場合がありますのでご注意ください。
仕様
- 【＜XY軸ステンレスステージ ステージサイズ□25/□40/□60/□65mm＞共通仕様】
- 移動ガイド：ボールガイド
- 主要材質：ステンレス
- 表面処理：無
- 【個別仕様】
- テーブル面サイズ：25×25mm
- マイクロ操作位置：サイド
- 移動量：±3mm
- 移動量/1回転：0.5mm
- マイクロメータ最小読取：0.01mm
- 耐荷重：49N（5.0kgf）
- 移動精度/真直度：0.5μm
- 移動精度/ピッチング：30″
- 移動精度/ヨーイング：25″
- 許容モーメント荷重/ピッチング：3.0N･m
- 許容モーメント荷重/ローリング：3.0N･m
- 許容モーメント荷重/ヨーイング：1.5N･m
- モーメント剛性/ピッチング：3.4″/N･cm
- モーメント剛性/ローリング：3.4″/N･cm
- モーメント剛性/ヨーイング：4.0″/N･cm
- 平行度：50μm
- 移動平行度：20μm
- 直交度：10μm
- 質量：0.1kg
- RoHS適合品
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-6980-85
XY軸ステンレスステージ 65×65mm ±6.5mm
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61-6980-86
XY軸ステンレスステージ 65×65mm ±6.5mm
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61-6980-76
XY軸ステンレスステージ 25×25mm ±3mm
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61-6980-77
XY軸ステンレスステージ 40×40mm ±6.5mm
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61-6980-79
XY軸ステンレスステージ 40×40mm ±6.5mm
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61-6980-84
XY軸ステンレスステージ 65×65mm ±6.5mm
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61-6980-82
XY軸ステンレスステージ 60×60mm ±6.5mm
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61-6980-78
XY軸ステンレスステージ 40×40mm ±6.5mm
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61-6980-75
XY軸ステンレスステージ 25×25mm ±3mm
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61-6980-81
XY軸ステンレスステージ 60×60mm ±6.5mm
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61-6980-80
XY軸ステンレスステージ 40×40mm ±6.5mm
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61-6980-83
XY軸ステンレスステージ 65×65mm ±6.5mm
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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