61-6967-91　XY軸ロングスチールステージ-M6-　移動量±6.5mm　TSD-652SDM-M6

仕様

• 【＜XY軸ロングスチールステージ-M6-＞共通仕様】
• テーブル面サイズ：65×65mm
• 移動ガイド：ボールガイド
• 主要材質：鉄
• 表面処理：スーパーブラッククロム
• 耐荷重：294N(30.0kgf)
• 移動精度/真直度：0.5μm
• 移動精度/ピッチング：25″
• 移動精度/ヨーイング：15″
• 許容モーメント荷重/ピッチング：13.2N・m
• 許容モーメント荷重/ローリング：13.2N・m
• 許容モーメント荷重/ヨーイング：10N・m
• モーメント剛性/ピッチング：0.13″/N・cm
• モーメント剛性/ローリング：0.13″/N・cm
• モーメント剛性/ヨーイング：0.16″/N・cm
• 平行度：30μm
• 移動平行度：12μm
• 直交度：10μm
• 【個別仕様】
• 移動量：±6.5mm
• マイクロ操作位置：サイド
• 移動量/1回転：粗動：0.5mm　微動：0.025mm
• マイクロメータ最小読取：粗動：0.01mm　微動：0.0005mm
• 質量：1.0kg
• RoHS適合品