61-6947-71　面精度保証ミラー 266nm φ50.8mm　HTFM-50.8C11-266

特徴

• 基板の材質や厚さとコーティングの条件を最適化することで、高面精度のミラーを実現しました。
• コーティング後の面精度λ/10を保証しています。
• 従来品の誘多膜平面ミラー（TFM）より、高い面精度（コート後）が得られています。
• 基板に合成石英を用い、基板の厚さを厚くすることで、基板の剛性が高くなっています。
• 紫外レーザやYAGレーザの各波長に対応した高反射率のミラーをラインナップしています。
• ホルダーにミラーを接着し、面精度を保証したHTFM-MHGも用意しています。
• ※誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。
• ※P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。
• ※仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。
• ※入射角度45°以外で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。
• ※適応波長以外の波長で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。
• ※面精度保証データは製品には添付されません。

仕様

• 【＜面精度保証ミラー＞共通仕様】
• 材質：合成石英
• コーティング：誘電体多層膜
• 入射角度：45°±3°
• コート後面精度：λ/10
• 平行度：＜3′
• スクラッチ-ディグ：10-5
• 有効径：外径の80％
• 裏面：研磨面
• 【個別仕様】
• 適応波長：266nm
• 外径 φD：φ50.8mm
• 厚さ t：11mm
• 反射率：＞99.2％
• レーザ耐力※：2J/cm2
• ※レーザパルス幅 10ns、繰り返し周波数 20Hz
• RoHS適合品