61-3612-92　［取扱停止］フォアライントラップ　モレキュラシーブ１３Ｘ　VSMI-450-QF25-120

特徴

• 高真空中でチャンバー内への油の逆拡散を防止するためのトラップです。
• モレキュラシーブ13X(合成ゼオライト)を採用、多数の分子サイズの空孔が大量の水蒸気、油蒸気を吸着します。
• さらに内蔵ヒーターによりエレメントの加熱再生が可能です。

仕様

• エレメント：モレキュラシーブ13X
• 寸法(mm)：φ114.3×H133.4×面間177.8
• 最大流量(L/m)：650
• 接続口：NW25