61-1875-79　［取扱停止］小型流量センサ　ラピフロー　FSM2-NVR102-A153B

特徴

• 流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。
• 設備や塗装エアの消費流量管理。
• 半導体製造装置パージガスの流量管理。
• イオナイザの流量管理。
• 微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
• ノズルやフィルタの目詰まり検知。

仕様

• 最大流量（L/min）：1000
• 分解能（L/min）：1
• 接続サイズ：Rc1/2
• 精度：±1％F.S以下
• 対象流体：清浄/圧縮空気・窒素ガス（アルゴン炭酸ガス）
• 耐圧保証：1MPa
• 耐熱温度（℃）：0～50℃（結露なきこと）
• 保護等級：IP40
• 注意：計量法に適合していませんので、工業用センサーとして使用してください。
• 一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルターを設置してください。
• 表示機能分離タイプもございます。
• 原産国：日本
• コード番号：459-9501
• ※この商品は別途費用が発生する場合があります。