特徴
- 下流側の圧力が変動しても、自動的にバルブ開度を調整することで、下流側の流量を安定して維持できるバルブです。
- 二次圧の変動に迅速に対応し、設定した流量に復帰させることが可能です。
- 豊富なラインナップから、使用条件に適した流量範囲を選択できます。
- 高感度分析で使用するガスの流量調整に適しています。
仕様
- 流量調整範囲：3000∼30000mL／min（9.8kP差圧、N2ガスの場合）
- 接続：Rc1／4（1／4PTメス）
- 使用温度範囲：～110℃
- 最高使用圧力：0.49MPa
- 方式：二次圧変動、一次圧一定型
- 耐圧：0.78MPa
- 接ガス部：SUS316、PTFE、FKM
- パネル取付穴：φ13
- 外部リーク：1×10-7Pa・m3／s
- コントロール特性：2％以内（二次圧変動幅39kPaに対する変動％値）
- 【材質】
- ステンレス
- PTFE
- フッ素ゴム
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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