60-9090-73　二次圧変動型気体用フローコントロールバルブ アルミニウム製 1500～15000mL/min　CF-1215

特徴

• 下流側の圧力が変動しても、自動的にバルブ開度を調整することで、下流側の流量を安定して維持できるバルブです。
• 二次圧の変動に迅速に対応し、設定した流量に復帰させることが可能です。
• 豊富なラインナップから、使用条件に適した流量範囲を選択できます。
• 高感度分析で使用するガスの流量調整に適しています。

仕様

• 流量調整範囲：1500∼15000mL／min（9.8kP差圧、N2ガスの場合）
• 接続：Rc1／4（1／4PTメス）
• 使用温度範囲：～80℃
• 最高使用圧力：0.49MPa
• 方式：二次圧変動、一次圧一定型
• 耐圧：0.78MPa
• 接ガス部：A5052、CR、C3604
• パネル取付穴：φ13
• 外部リーク：1×10-7Pa・m3／s
• コントロール特性：2％以内（二次圧変動幅39kPaに対する変動％値）
• 【材質】
• アルミニウム
• シンチュウ
• クロロプレンゴム