特徴
- 供給側の圧力が変動しても、バルブ内部の構造が自動調整を行い、下流側の流量を安定して維持できるバルブです。
- 一次圧の変動に迅速に対応し、設定した流量に復帰させることが可能です。
- 豊富なラインナップから、使用条件に適した流量範囲を選択できます。
- 高感度分析で使用するガスの流量調整に適しています。
仕様
- 流量調整範囲：1000∼10000mL／min（9.8kP差圧、N2ガスの場合）
- 接続：Rc1／4（1／4PTメス）
- 使用温度範囲：～110℃
- 最高使用圧力：0.49MPa
- 方式：一次圧変動、二次圧一定型
- 耐圧：0.78MPa
- 接ガス部：SUS316、PTFE、FKM
- パネル取付穴：φ13
- 外部リーク：1×10-7Pa・m3／s
- コントロール特性：2％以内（一次圧変動幅98kPaに対する変動％値）
- 【材質】
- ステンレス
- PTFE
- フッ素ゴム
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|