60-9090-65　一次圧変動型気体用フローコントロールバルブ ステンレス製 100～1200mL/min　CF-1123

特徴

• 供給側の圧力が変動しても、バルブ内部の構造が自動調整を行い、下流側の流量を安定して維持できるバルブです。
• 一次圧の変動に迅速に対応し、設定した流量に復帰させることが可能です。
• 豊富なラインナップから、使用条件に適した流量範囲を選択できます。
• 高感度分析で使用するガスの流量調整に適しています。

仕様

• 流量調整範囲：100∼1200mL／min（9.8kP差圧、N2ガスの場合）
• 接続：Rc1／8（1／8PTメス）
• 使用温度範囲：～110℃
• 最高使用圧力：0.49MPa
• 方式：一次圧変動、二次圧一定型
• 耐圧：0.78MPa
• 接ガス部：SUS316、PTFE、FKM
• パネル取付穴：φ13
• 外部リーク：1×10-7Pa・m3／s
• コントロール特性：2％以内（一次圧変動幅98kPaに対する変動％値）
• 【材質】
• ステンレス
• PTFE
• フッ素ゴム
• 荷姿サイズ：150×110×90mm [荷姿サイズについて]