60-9090-13　窒素ガス精製器 110VAC　NITROGEN PURIFIER 110VAC NP2

特徴

• 窒素から反応性ガス状不純物をsub-ppmまで減少させ、実用的な純度を供給する装置です。
• 入口の不純物濃度が合計10 ppmの場合、H₂O、H₂、O₂、NO、NH₃、CO、CO₂、CH₄などの不純物を10 ppb未満まで低減します。
• 精製基材として加熱活性型ゲッター合金を採用し、安定した不純物除去性能を提供します。
• ゲッター材料を最適な温度に維持する自己調整機能を備え、熱暴走のリスクを排除します。

仕様

• 精製対象ガス：N2、He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
• 最高使用圧力：6.89MPa
• 最大流量：1L／min
• 入出口接続：1／16"インターナルジョイント用
• 除去される不純物：H2O、H2、O2、NO、NH3、CO、CO2、CH4入口トータル10ppm、出口不純物10ppb以下CF4、CCl4、SiH4、低級炭化水素も除去されます。
• 除去されない成分：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
• 寸法：117（W）×112（D）×390（H）mm
• 電源：AC100V
• 【セット内容】
• 精製器本体×1
• 電源（ACアダプター）×1
• ユニオン×2
• 取扱説明書（英文）×1
• 荷姿サイズ：260×500×240mm　5.12kg [荷姿サイズについて]