60-9090-12 ヘリウムガス精製器 交換用ゲッター触媒組 I-23572HP2
[Valco Instruments Co. Inc.（VICI）]
特徴
- ヘリウム精製器 HP2の交換用ゲッターアセンブリです。不純物除去性能が低下した場合に交換します。
仕様
- 適用：HP2交換用ゲッター
- 精製対象ガス：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
- 最高使用圧力：6.89MPa
- 最大流量：1L／min
- 入出口接続：1／16"インターナルジョイント用
- 除去される不純物：H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2、CH4入口トータル10ppm、出口不純物10ppb以下CF4、CCl4、SiH4、低級炭化水素も除去されます。
- 除去されない成分：He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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