60-7211-15　［受注停止］ソフトエッチング装置　SEDE-GE-As

特徴

• 親水化やクリーニングをダメージなく処理。
• PDMSも簡単に接着。
• 特殊電極構造での理想的な円筒状プラズマ照射を実現。
• 卓上型で広範囲均一照射。
• 均一でソフトなエッチング処理ができるためサンプル極表面のコンタミ除去やエッチングにも適しています。
• 長時間処理でも安定照射を実現。
• CF4を利用した高出力ドライエッチングが可能なモデルもございます（SEDE-PHL）。
• その他モデルに関しては、メイワフォーシスまでお問合せ下さい。

仕様

• 放電方式：グロー放電
• パワー：3～18W（出力は研究内容に合わせてカスタマイズすることができます。）
• 試料ステージ：φ80mm
• 均一照射面積：55％
• 領域面積：28cm2
• 使用可能ガス：大気・酸素・アルゴン他
• 真空ポンプ容量：50L／min
• 最大消費電力：620W
• サイズ：W367×D258×H360mm
• 重量：11kg
• SDSについてはメイワフォーシスに問合せください
• 荷姿サイズ：510×500×565mm　11.00kg [荷姿サイズについて]