特徴
- メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリーです。
- バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。
- 半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用。
仕様
- 全長（mm）：62
- 高さ（mm）：53
- 最高許容圧力（MPa）：1
- 使用温度範囲（℃）：-10～80
- Cv値max：0.3
- ハンドル長D（mm）：40
- 呼び径d：6.35
- d1（mm）：4.5
- 清浄度：特級禁油
- 内面処理：電解研磨
- ハンドル径D（mm）：40
- 作動形式：手動
- 接続継手：F900継手
- 材質／仕上：ボディ／ステンレス（SUS316L）
- 原産国：日本
- コード番号：654-1563
- 荷姿サイズ：116×106×55mm 0.30kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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60-5866-26
SUS鋼製ダイレクトダイヤフラムバルブ_1MPa_FUND-91G
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60-5866-20
SUS鋼製自動ダイレクトダイヤフラムバルブ_1MPa_FPR-ND-91
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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