特徴
- 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様
- サイズ:3インチシリコンウェハハ
- 熱酸化膜膜厚み:400nm±10%
- 直径(mm):76.0±0.2
- ウェハー厚(μm):380±25
- 製造方法:CZ法
- 導電型:P型
- 面方位:100
- OF方位:110
- 抵抗値(Ω・cm):1~100
- OF長(mm):22.5±2.5
- 面状態:ミラー/エッチド
- パーティクル:ダストフリー
- 荷姿サイズ:300×400×200mm 2.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|





![3インチ熱酸化膜付きウェハ(400nm±10%)研究用 [P(100),1-100Ω] 片面ミラーDF品 50枚入](https://aimg.as-1.co.jp/c/60/3286/10/60328595.jpg)