60-2869-01　3インチドライ酸化膜付きウェハ（膜厚み：20nm）研究用 [N（100）,1-100Ω] 片面ミラーDF品 25枚入

特徴

• 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

仕様

• サイズ：3インチシリコンウェハ
• ドライ酸化膜膜厚み：20nm狙い（公差保証不可）
• 直径（mm）：76.0±0.5
• ウェハー厚（μm）：380±25
• 製造方法：CZ法
• 導電型：N型
• 面方位：100
• 抵抗値（Ω・cm）：1～100
• OF：有
• 面状態：ミラー／エッチド
• パーティクル：ダストフリー
• TTV（μm）：≦15
• 数量：25枚（1箱）
• ※特注対応品
• 方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
• 1stオリフラ有り、2ndオリフラ無し
• 荷姿サイズ：30×30×30mm　1.00kg [荷姿サイズについて]