特徴
- 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様
- サイズ:2インチシリコンウェハ
- ドライ酸化膜膜厚み:90nm±10%
- 直径(mm):50.0±1.0
- ウェハー厚(μm):280±25
- 製造方法:CZ法
- 導電型:N型
- 面方位:100
- 抵抗値(Ω・cm):1~100
- OF:有
- 面状態:ミラー/エッチド
- パーティクル:ダストフリー
- TTV(μm):≦15
- 数量:50枚(1箱)
- ※特注対応品
- 方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
- 1stオリフラ有り、2ndオリフラ無し
- 荷姿サイズ:30×60×30mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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![2インチドライ酸化膜付きウェハ(膜厚み:90nm)研究用 [N(100),1-100Ω] 片面ミラーDF品 50枚入](https://aimg.as-1.co.jp/c/60/2868/39/60286783.jpg)