仕様
- 型番：CP-60
- サイズ（mm）：189×169×186
- ウェハー径（mm）：150（6″）
- 材質：本体／セミプラスト(R)P（PP）、フタ／セミプラスト(R)PC（PC）、カセット／セミプラスト(R)T（PBT）、押え／セミプラスト(R)E（PEE）
- 収納数：カセット／1個、ウェハー／25枚
- 荷姿サイズ：200×180×200mm 1.18kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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