仕様
- サイズ（mm）：268×265×240
- ウェハー径（mm）：200（8″）
- 材質：本体／セミプラスト(R)P（PP）、カセット／セミプラスト(R)T（PBT）、押え／セミプラス(R)トE（PEE）
- 収納数：カセット／1個、ウェハー／25枚
- 荷姿サイズ：250×260×250mm 2.10kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|