特徴
- 側面の開口が特に大きく洗浄に優れています。ただし、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。
仕様
- 型番：KM-30WD
- ウェハー径（mm）：76（3″）
- サイズ（mm）：A1/142.24、A2/102.8、A3/82.6、D1/13.97、B2/4.76、D6/41.6、D6g/47.6
- 収納数：25枚
- 材質：セミプラスト(R)A（PFA）
- 荷姿サイズ：180×120×100mm 0.29kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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7-177-21
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-22
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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6-7987-47
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-04
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-05
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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