6-7987-45　［取扱停止］ウェハーキャリア（PEEK）　3インチ　KM-302KE-SA

特徴

• 帯電防止型、高温用キャリアです。

仕様

• 型番：KM-302KE-SA
• ウェハー径（mm）：76（3″）
• サイズ（mm）：93.13×140.50×82.96
• 収納数：25枚
• 材質：セミプラスト(R)K（PEEK）+Carbon
• D1寸法：13.97mm
• 溝ピッチ：4.76mm
• 荷姿サイズ：140×95×85mm [荷姿サイズについて]