特徴
- 帯電防止型、高温用キャリアです。
仕様
- ウェハー径（mm）：100（4″）
- サイズ（mm）：A1/142.68、A2/125.48、A3/111.12、D1/13.97、B2/4.76、D6/60.33、D6g/65.33
- 収納数：25枚
- 材質：セミプラスト(R)K（PEEK）+Carbon
- 溝ピッチ：4.76mm
- 荷姿サイズ：125×170×125mm 0.32kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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