特徴
- 側面の開口が特に大きく洗浄に優れています。ただし、ウェハーの水平移載とPFAハンドルには対応していません。
仕様
- ウェハー径(mm)：150(6″)
- サイズ(mm)：A1/143.38、A2/177.8、A3/171.45、D1/14.54、B2/4.76、D6/111、D6g/120
- 収納数：25枚
- 材質：セミプラスト(R)A(PFA)
- 荷姿サイズ：180×145×170mm 0.75kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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6-7987-09
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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6-7987-08
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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6-7987-16
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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7-177-10
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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