特徴
- 剛性を重視し、カセット下部の溝形状に独特の構造を持った洗浄・エッチング用キャリアです。
仕様
- ウェハー径(mm)：150(6″)
- サイズ(mm)：A1/142.24、A2/187、A3/165、D1/13.97、B2/4.76、D6/131、D6g/142
- 収納数：25枚
- 材質：セミプラスト(R)A(PFA)
- 荷姿サイズ：165×145×195mm [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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6-7987-09
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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6-7987-08
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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6-7987-16
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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7-177-10
ウェハーキャリア（PFA） 6インチ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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