55-6295-22　超高純度ガス精製器 「ファインピュアラー」 水素用 流量範囲3NL/min以下　FPH-3

特徴

• FPHシリーズは、複数の吸着剤の組み合わせにより、O2、CO、CO2、H2Oなどの不純物を1ppb未満まで除去できる高性能ガス精製器です。
• インライン型で簡単に設置でき、短納期・低価格・再生可能というコストパフォーマンスの高さも特長で、半導体製造や分析装置など、超高純度ガスが求められる現場で幅広く活用されています。
• 【用途例】
• 微量分析計キャリアガス、ゼロガス
• 溶接用シールドガス
• 半導体装置、CVD装置など、高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス

仕様

• サイズ：φ34.0×84.0mm
• 重量：0.2kg
• 接続：1／4インチオス（VCR®互換）
• 適合ガス：H2
• 入口条件：高純度ガス（5Nガスボンベ相当以上）
• 出口ガス不純物濃度：O2：1ppb未満、CO：1ppb未満、CO2：1ppb未満、H2O：1ppb未満
• 除去対象不純物：O2、CO、CO2、H2O
• 精製量：33Nm3
• 流量範囲：3NL／min以下
• 圧力範囲：0.1～0.97MPaG
• 使用温度：5～35℃
• 精製器材質：SUS316L EP
• ※取扱説明書は、商品と同封して発送いたします。
• ※精製量は「入口ガス純度が5Nボンベ相当の場合、出口ガス不純物濃度を維持できる処理量」のことです。
• ※流量範囲は標準状態（0℃、101.325 kPa）での流量（L／min）を示します。
• ※圧力範囲は最大流量時の使用圧力範囲を示します。