55-6295-08　超高性能ドライヤー 「FPDCシリーズ」 標準継手 大流量用　FPDC-L4

特徴

• FPDCは、各種ガス中の水分を吸着除去する高性能ドライヤーです。
• 到達露点は-100 ℃以下になります。
• 【用途例】
• 熱処理炉、還元炉等各種雰囲気ガスの乾燥
• 溶接用アルゴンガスの乾燥
• 生合成
• スパッタリング、CVD用
• 熱分析計用
• その他半導体用キャリアガス
• ガスクロ用キャリアガス

仕様

• サイズ：φ51×610mm
• 重量：1900g
• 材質：SUS304
• 適合ガス：He／H2／Ne／Ar／O2／N2／Kr／Xe／CH4／C2H6／C3H8／n-C4H10
• 不適合ガス：N2O／NO2／CO／CO2／Cl2／Br2／HCl／HBr／SiH4／NH3／SO2／H2S／D2／C2H2／C2H4／C3H6／C4H6
• 出口ガス水分到達露点：-100℃以下
• 性能：入り繰り露点-76℃の処理量4000m3
• 流量範囲：40NL／min以下
• 圧力範囲：0.5MPaG以下
• 使用温度：5～35℃
• 接続：1／4インチチューブ接手
• 取扱説明書は、商品と同封して発送いたします。