特徴
- 代表的な酸化物単結晶基板:ペロブスカイト型構造を持つSrTiO₃
- (100)結晶方位:酸化物薄膜・エピタキシャル成長研究で使用される代表的な方位
- EPI研磨仕様:片面をエピタキシャル薄膜形成向けに研磨
- 格子定数 a = 3.905 A:各種ペロブスカイト型酸化物の成膜用基板として利用可能
- 高誘電率:誘電率 約300
- 優れた耐水性:水に不溶
- 熱膨張係数:10.4 × 10⁻⁶/℃
仕様
- 商品説明
- チタン酸ストロンチウム(SrTiO₃/STO)単結晶基板は、ペロブスカイト型結晶構造を有する代表的な酸化物単結晶基板です。
- 結晶方位は(100)で、片面にEPI研磨を施した高品質な表面を備えています。SrTiO₃は格子定数a = 3.905 Aを有し、各種ペロブスカイト型酸化物との格子整合性に優れることから、酸化物薄膜のエピタキシャル成長用基板として広く利用されています。
- また、約300の高い誘電率を持つことから、誘電体・強誘電体・電子材料などの研究にも適しています。酸化物エレクトロニクスをはじめ、薄膜材料、界面物性、電子デバイスなど幅広い研究開発用途に使用できる基板です。
- 仕様
- チタン酸ストロンチウム(SrTiO₃/STO)基板
- サイズ:10 mm × 10 mm
- 基板厚み:0.5 mm
- 面状態:片面ポリッシュ(EPI研磨)
- 結晶構造:立方晶
- 格子定数:a = 3.905 A
- 結晶育成方法:ベルヌーイ法(火炎溶融法)
- 結晶方位:(100)
- 密度:5.175 g/cm3
- 熱膨張係数:10.4 × 10⁻⁶/℃
- 誘電率:約300
- 用途例
- 紫外(UV)・可視・赤外光学の研究
- UV光学素子・光学材料の基礎研究
- 光学薄膜・機能性薄膜の成膜用基板
- PVD、スパッタリング、蒸着などの薄膜形成
- レーザー・フォトニクス関連研究
- 複屈折・偏光特性の研究
- 光学コーティングの研究・評価
- 分光・透過特性評価
- 表面・界面物性の研究
- 荷姿サイズ:30×30×20mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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55-0476-85
SrTiO₃(チタン酸ストロンチウム/STO)単結晶基板(100)10mm×10mm×0.5mm 片面ポリッシュ 10枚
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55-0476-84
SrTiO₃(チタン酸ストロンチウム/STO)単結晶基板(100)10mm×10mm×0.5mm 片面ポリッシュ 5枚
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55-0476-86
SrTiO₃(チタン酸ストロンチウム/STO)単結晶基板(100)10mm×10mm×0.5mm 片面ポリッシュ 20枚
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よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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