55-0476-79　TiO₂（二酸化チタン）単結晶基板 10mm×10mm×0.5mm 片面ポリッシュ 10枚 セラミック

仕様

• 商品説明
• TiO₂（二酸化チタン）単結晶基板は、正方晶構造を有する高屈折率の酸化物結晶基板です。本製品は火炎法により育成されたTiO₂結晶を使用し、角基板形状に加工しています。
• TiO₂は高い屈折率を持つことに加え、化学的・機械的に比較的安定した酸化物材料であり、機能性薄膜や光学材料などの研究用基板として利用されています。
• 片面ポリッシュ仕様で、平坦度＜λ／4、表面品質10／5と高品質な研磨面を備えています。また、結晶方位公差±0.1°、平行度＜15″の高精度加工により、薄膜形成、光学・電子材料研究、結晶成長などの各種研究開発用途に適しています。
• 仕様
• TiO₂基板（二酸化チタン）
• サイズ：10 mm × 10 mm（±0.05 mm）
• 基板厚み：0.5 mm（±0.05 mm）
• 面状態：片面ポリッシュ
• 結晶構造：正方晶
• 育成方法：火炎法
• 格子定数：a = 4.5936 A、c = 2.9582 A
• 密度：4.26 g／cm3
• 硬度：7（Mohs）
• 透過範囲：0.5～4.5 μm
• 屈折率：nₒ = 2.47、nₑ = 2.73（λ = 1.3 μm）
• 結晶方位公差：±0.1°
• 平行度：＜15″
• 平坦度：＜λ／4
• 表面品質：10／5
• 用途例
• 酸化物薄膜の成膜用基板
• エピタキシャル成長・結晶成長研究
• PVD、PLD、スパッタリング等の薄膜形成研究
• TiO₂および各種機能性酸化物の界面研究
• 光学・フォトニクス材料の研究
• 高屈折率材料を利用した光学素子の基礎研究
• 表面物性・表面分析
• 半導体・電子材料の基礎研究
• 荷姿サイズ：30×30×20mm　1.00kg [荷姿サイズについて]