特徴
- 高品質な単結晶サファイア（Al₂O₃）基板
- 優れた耐熱性・耐薬品性・耐摩耗性を有し、過酷な環境下でも安定した性能を発揮
- 高い電気絶縁性を備え、高温環境での電子デバイス用途にも適しています
- 可視光から赤外域まで高い光透過率を有し、光学用途にも最適
- LED・パワーデバイス・光学部品などの研究開発から試作まで幅広く使用可能
仕様
- 高品質な単結晶サファイア（Al₂O₃）を使用した角基板です。優れた機械的強度、耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性を備えており、LED・半導体・光学用途など幅広い分野でご使用いただけます。片面ポリッシュ仕上げのため、薄膜成膜や各種プロセス基板としても適しています。
- 仕様
- サファイア単結晶基板
- サイズ：20 mm × 20 mm（±0.05 mm）
- 基板厚み：0.65mm（±0.05 mm）
- 結晶方位：C面（0001）
- オフ角：M面（1-100）方向へ0.2° ±0.1°
- TTV：≦10 μm
- BOW：≦15 μm
- WARP：≦15 μm
- 面状態：両面ポリッシュ
- 特長
- 高純度単結晶サファイア基板
- 優れた耐熱性・耐薬品性・耐摩耗性
- 高い電気絶縁性を有し、高温環境でも安定した特性を維持
- 可視光から赤外域まで高い透過率を有する光学材料
- 両面ポリッシュ仕上げにより、成膜・フォトリソグラフィ・エッチングなど各種プロセスに対応
- 用途例
- GaN系LED・レーザーダイオード用基板
- GaN、AlNなど化合物半導体のエピタキシャル成長用基板
- MEMS・センサー開発
- 光学部品・光学窓材
- RFデバイス・高周波デバイスの研究開発
- 各種成膜、エッチング、フォトリソグラフィ評価用基板
- 荷姿サイズ：30×30×20mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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55-0476-58
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 片面ポリッシュ 20枚
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55-0476-69
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 両面ポリッシュ 10枚
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55-0476-23
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 片面ポリッシュ 30枚
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55-0476-21
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 片面ポリッシュ 10枚
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55-0476-22
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 片面ポリッシュ 20枚
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55-0476-57
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 片面ポリッシュ 10枚
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55-0476-41
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 両面ポリッシュ 10枚
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55-0476-39
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 両面ポリッシュ 3枚
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55-0476-70
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 両面ポリッシュ 20枚
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55-0476-40
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 両面ポリッシュ 5枚
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55-0476-20
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 片面ポリッシュ 5枚
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55-0476-71
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 両面ポリッシュ 30枚
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55-0476-19
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 片面ポリッシュ 3枚
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55-0476-43
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 両面ポリッシュ 30枚
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55-0476-59
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.43mm 片面ポリッシュ 30枚
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55-0476-42
サファイア単結晶基板 C面（0001）20mm×20mm×0.65mm 両面ポリッシュ 20枚
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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