55-0476-13　炭化珪素板（SIC）（50mm×50mm×2mm）Si3N4 セラミック 50枚

仕様

• 商品説明
• 優れた耐熱性、高硬度、高耐摩耗性を備えた炭化ケイ素（SiC）セラミック基板です。高温環境下でも優れた機械特性と熱特性を維持し、耐食性・耐薬品性にも優れているため、半導体製造装置部品や各種工業用途、研究開発用途など幅広い分野で使用されています。
• 仕様
• 炭化珪素板（SIC）セラミック
• サイズ（mm）：50×50±0.1
• ウェハー厚（mm）：2.0±0.05
• 密度：3.1g／cm3超
• 曲げ強度：380MPa
• 熱伝導率：100W／（m・K）超（1200℃）
• 熱膨張係数：4.5×10⁻⁶／K
• ビッカース硬度：2000HV
• 破壊靭性：3～4MPa・m1ᐟ2
• 特徴
• ・優れた耐熱性・耐酸化性を有し、高温環境下でも安定した性能を維持
• ・高硬度・高耐摩耗性により、長寿命かつ耐久性に優れる
• ・熱伝導性が高く、放熱用途にも適している
• ・耐食性・耐薬品性に優れ、過酷な使用環境にも対応
• ・軽量で高い機械的強度を有する
• ・半導体製造装置や各種工業用途、研究開発用途に最適
• 用途例
• ・半導体製造装置用部品（治具・チャック・プロセス部材）
• ・パワー半導体・電子部品の放熱部材
• ・高温炉・熱処理装置用部品
• ・耐摩耗部品・摺動部品
• ・真空装置・分析装置用部材
• ・大学・研究機関での材料評価・研究開発用途
• 荷姿サイズ：300×300×150mm　0.50kg [荷姿サイズについて]